JEOL推出高精度和高分辨率的FIB-SEM系統“JIB-PS500i”

JEOL Ltd. (TOKYO:6951)（總裁兼首席執行官：Izumi Oi）宣布于2023年2月1日推出FIB-SEM系統“JIB-PS500i”。

FIB-SEM 系統“PS500i”（照片：美國商業資訊）

(相關資料圖)

隨著先進材料結構愈發精細化和工藝愈發復雜化，形態觀察、元素分析等評價技術對分辨率和精度提出了更高的要求。在半導體行業、電池和材料領域，在為透射電子顯微鏡(TEM)制備樣品時需要“更高的精度”和“更薄的樣品”。本產品是可高精度加工的FIB（聚焦離子束）系統和高分辨率SEM（掃描電子顯微鏡）的組合系統，可滿足上述要求。

主要特性

FIB鏡筒支持高達100nA的大電流鎵離子束加工。大電流加工對制備用于大面積成像和分析的截面樣品特別有效。此外，FIB鏡筒的工作距離更短。加上新開發的電源，低加速電壓下的加工性能得到極大的改善。

SEM鏡筒內置新開發的超級圓錐透鏡系統，大大提高了低加速電壓下的圖像分辨率。這種出色的成像性能對于利用SEM檢查薄片樣品的端點研磨狀態非常有用。

JIB-PS500i采用了大型樣品室和新開發的樣品平臺，增加了平臺的移動范圍，因此可以容納大型樣品。此外，新開發的STEM檢測器可以在平臺傾斜90度時使用，支持從TEM樣品制備到STEM觀察的無縫過渡。

圖形界面操作采用了在JSM-IT800系列高分辨率掃描電子顯微鏡中廣受好評的“SEM中心”，全面集成EDS分析。

雙軸傾斜盒和專用TEM支架可實現更精確的對準，同時使樣品更容易在TEM和FIB之間的切換。

銷售目標50臺/年

產品URL：https://www.jeol.com/products/scientific/fib/JIB-PS500i.php

JEOL Ltd.3-1-2, Musashino, Akishima, Tokyo, 196-8558, JapanIzumi Oi，總裁兼首席執行官（股票代碼：6951，東京證券交易所主板市場）www.jeol.com

原文版本可在businesswire.com上查閱：https://www.businesswire.com/news/home/20230123005841/en/

關鍵詞： 高分辨率 掃描電子顯微鏡 加速電壓 首席執行官 加工性能